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目前經(jīng)常使用的磁力齒輪泵泵體材料主要有:PP、PVDF、ETFE三種。根據不同的溶液選擇相適應的泵體材料、軸承材料以及密封圈材料。PP、PVDF、ETFE三種塑料泵體材質(zhì)的磁力齒輪泵最高使用溫度為80℃,特殊型號最高使用溫度為100℃(臺灣ASSOMAAMXI系列)。介質(zhì)的黏度對泵的性能影響很大,當黏度增加時(shí),泵的揚程曲線(xiàn)下降,最佳工況的揚程和流量均隨之下降,而功率則隨之上升,因而效率降低。對于黏度較大的介質(zhì),較小揚程的磁力齒輪泵可能無(wú)法工作。用于噴淋沖洗的磁力齒輪泵,在滿(mǎn)足流量要求的前提下,選用揚程在20m以上的能達到較佳的清洗效果。
磁力齒輪泵在濕法腐蝕清洗設備中主要有以下應用:
(1)藥液的循環(huán)過(guò)濾:由磁力齒輪泵、循環(huán)溢流槽、過(guò)濾器、管件等組成藥液的循環(huán)過(guò)濾系統。實(shí)現藥液的循環(huán)過(guò)濾,保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。由于磁力齒輪泵長(cháng)時(shí)間運行會(huì )引起藥液一定溫升,因此不適用于溫控精度較高的工藝槽中。常應用于太陽(yáng)能電池片酸洗、制絨、清洗等設備中。
(2)熱水注入與噴淋:經(jīng)過(guò)化學(xué)液處理后的晶片,有時(shí)需要熱DI水噴淋沖洗。一般先將DI水注入至預熱槽,通過(guò)加熱器加熱到所需供液溫度后,再通過(guò)磁力齒輪泵加壓輸送至噴淋裝置,實(shí)現對晶片的清洗。由于磁力齒輪泵軸承滑動(dòng)摩擦會(huì )產(chǎn)生顆粒,不適用于顆粒要求高的清洗。