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磁力齒輪泵在濕法腐蝕清洗設(shè)備中的應(yīng)用

發(fā)布日期：2017-12-19 作者：點擊：

磁力齒輪泵在濕法腐蝕清洗設(shè)備中主要有以下應(yīng)用：

(1)藥液的循環(huán)過濾：由磁力齒輪泵、循環(huán)溢流槽、過濾器、管件等組成藥液的循環(huán)過濾系統(tǒng)。實現(xiàn)藥液的循環(huán)過濾，保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。由于磁力齒輪泵長時間運行會引起藥液一定溫升，因此不適用于溫控精度較高的工藝槽中。常應(yīng)用于太陽能電池片酸洗、制絨、清洗等設(shè)備中。

(2)熱水注入與噴淋：經(jīng)過化學(xué)液處理后的晶片，有時需要熱DI水噴淋沖洗。一般先將DI水注入至預(yù)熱槽，通過加熱器加熱到所需供液溫度后，再通過磁力齒輪泵加壓輸送至噴淋裝置，實現(xiàn)對晶片的清洗。由于磁力齒輪泵軸承滑動摩擦?xí)a(chǎn)生顆粒，不適用于顆粒要求高的清洗。

目前經(jīng)常使用的磁力齒輪泵泵體材料主要有：PP、PVDF、ETFE三種。根據(jù)不同的溶液選擇相適應(yīng)的泵體材料、軸承材料以及密封圈材料。PP、PVDF、ETFE三種塑料泵體材質(zhì)的磁力齒輪泵最高使用溫度為80℃，特殊型號最高使用溫度為100℃(臺灣ASSOMAAMXI系列)。介質(zhì)的黏度對泵的性能影響很大，當(dāng)黏度增加時，泵的揚程曲線下降，最佳工況的揚程和流量均隨之下降，而功率則隨之上升，因而效率降低。對于黏度較大的介質(zhì)，較小揚程的磁力齒輪泵可能無法工作。用于噴淋沖洗的磁力齒輪泵，在滿足流量要求的前提下，選用揚程在20m以上的能達(dá)到較佳的清洗效果。